基于小波包络提取法的白光干涉测量系统

• 作者: 孙晓光 李东升 李源 简黎 蔡潇雨 雷李华
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 白光干涉法 纳米测量机 小波包络提取法 台阶高度评价 微纳米计量
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 586-591,610
• 分类号: TB92|TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.09.008

摘要

为实现对微纳尺寸器件的非接触、无损伤的场式测量,基于纳米测量机(NMM)搭建了白光干涉测头.对测量系统的横向、纵向测量范围及分辨率进行了研究.测量系统集成了Michelson 显微干涉物镜,并通过NMM的高精度定位平台带动被测样品进行垂直扫描,使用CCD相机采集干涉图像,小波包络提取法提取干涉信号包络,定位相干峰位置以获取被测样品表面形貌.实验分别测试了44 nm的纳米级台阶及10 μm的微米级台阶,同时测试墨盒薄膜上数字‘232’以验证系统测量微纳器件的能力.结果表明搭建的白光干涉系统结合小波包络提取法能够用于微纳尺寸器件高精度、快速的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李东升	中国计量学院计量测试工程学院	176	977	16.0	19.0
2	孙晓光	上海市计量测试技术研究院微纳米计量实验室	4	4	1.0	2.0
3	简黎	中国计量学院计量测试工程学院	3	5	2.0	2.0
5	雷李华	上海市计量测试技术研究院微纳米计量实验室	15	48	4.0	6.0
6	李源	上海市计量测试技术研究院微纳米计量实验室	19	84	6.0	8.0
7	蔡潇雨	上海市计量测试技术研究院微纳米计量实验室	11	37	4.0	5.0