激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法分析Cr：ZnSe晶体中掺杂元素Cr的含量和分布

• 作者: 周慧 屈海云 朱燕 李青 汪正 邹慧君 陈奕睿 陈敏
• 来源期刊: 分析化学
• 关键词: 激光剥蚀电感耦合等离子体质谱 Cr∶ZnSe晶体 掺杂
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 研 究 报 告 -- 研 究 简 报
• 页码范围: 151-154
• 页数: 4页
• 字数: 3169字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11895/j.issn.0253_3820.140355

摘要

采用激光剥蚀电感耦合等离子体质谱( LA_ICP_MS)法研究激光晶体材料Cr∶ZnSe晶体中掺杂元素铬( Cr)的含量和分布。利用镀膜扩散掺杂方法,制备不同掺杂浓度的Cr∶ZnSe晶体标准样品作为固体标准物质,实现Cr∶ZnSe晶体中Cr的定量分析。 LA_ICP_MS法研究自制标准样品中Cr的分布均匀性,电感耦合等离子体光谱法测定其准确含量。通过激光点剥蚀和线扫描剥蚀采样,获得Cr元素的点位和含量分布信息,实现晶体中Cr的原位微区分析。标准工作曲线相关系数0.9992,检出限0.08 mg/kg。本方法可为不同生长条件下Cr∶ZnSe晶体中Cr的统计分布分析提供有效检测手段。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李青	中国科学院上海硅酸盐研究所	142	948	15.0	24.0
2	陈敏	中国科学院上海硅酸盐研究所	152	2213	23.0	42.0
3	朱燕	中国科学院上海硅酸盐研究所	6	30	4.0	5.0
4	汪正	中国科学院上海硅酸盐研究所	30	189	8.0	13.0
5	邹慧君	中国科学院上海硅酸盐研究所	13	63	4.0	7.0
6	屈海云	中国科学院上海硅酸盐研究所	13	44	4.0	6.0
7	周慧	中国科学院上海硅酸盐研究所	13	65	4.0	8.0
11	陈奕睿		1	1	1.0	1.0