一种用于地震检波器的新型MEMS加速度传感器

• 作者: 于连忠 孙晨 张忠山 矣雷阳 胡宗达
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 三明治结构电容式加速度传感器 圆片级封装 四层硅-硅键合 冲击测试 重力场静态翻滚实验
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 433-438,445
• 分类号: TP212.1|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.07.005

摘要

设计了一种新型的可用于地震检波器的三明治结构MEMS电容式加速度传感器,采用四层硅-硅键合技术获得双面梁-质量块结构与圆片级真空封装,其具有大电容、高分辨率的特点.传感器采用悬臂梁结构减少高温键合过程中热蠕变带来性能影响,并具有良好的抗冲击性.传感器芯片体积为6.3 mm×5.6 mm×2.2 mm,其中敏感质量块尺寸为3.3 mm×3.3 mm×1.0mm.对封装后的传感器性能进行了初步测试,结果表明,制作的传感器灵敏度达24.4 pF/g,谐振频率为808 Hz,Q值为22,在2 000 g,0.5ms加速度冲击后仍能正常工作.接入闭环电路进行重力场静态翻滚实验标定,传感器二阶非线性小于0.2％,交叉轴敏感度小于0.07％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡宗达	中国科学院地质与地球物理研究所	2	11	2.0	2.0
5	矣雷阳	中国科学院地质与地球物理研究所	2	11	2.0	2.0
9	孙晨	中国科学院地质与地球物理研究所	9	35	5.0	5.0
13	张忠山	苏州大学电子信息学院	2	6	1.0	2.0
14	于连忠	中国科学院地质与地球物理研究所	1	5	1.0	1.0