ZnO/蓝宝石结构声表面波频散特性数值计算

• 作者: 吕翼 张显洪 张永川 朱勇 李浩 董加和 赵雪梅 鄢秋娟 陈运祥
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 频散特性 机电耦合系数 ZnO薄膜 蓝宝石 相速度
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 页码范围: 746-747,751
• 页数: 3页
• 分类号: TN65
• 字数: 1173字
• 语种: 中文

摘要

从理论上计算出ZnO/蓝宝石结构声表面波相速度和机电耦合系数k2色散曲线.计算显示,在ZnO膜厚和声表面波器件波长之比h/λ=0.48时,IDT/ZnO(c面)/蓝宝石(c面)结构西沙瓦波1次模式的k2最大值为2.705％,理论声速为4 982 m/s;在hA=0.3时,IDT/ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构西沙瓦波1次模式的k2最大值为4.34％,理论声速为5 509 m/s.结果表明,IDT/ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构西沙瓦波1次模式的k2和声速较大,适于研制高频低损耗声表面波滤波器.