激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法测定金属镀锡层的厚度

• 作者: 谢健梅 金献忠 陈建国
• 来源期刊: 岩矿测试
• 学科: 化学
• 关键词: 镀锡层 涂层 厚度 皮秒激光剥蚀(psLA) 电感耦合等离子体质谱法
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 岩石矿物分析
• 页码范围: 286-291
• 页数: 6页
• 分类号: O657.63
• 字数: 4197字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15898/j.cnki.11-2131/td.2015.03.004

摘要

激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法（LA －ICP －MS）应用于测定金属镀锡层的厚度时激光脉冲能量的大小及其稳定性会影响分析结果的准确度。本文采用一款自制的皮秒激光剥蚀固体进样系统（psLA），与ICP －MS 联用建立了一种测定金属镀锡层厚度的方法。在激光脉冲能量为12μJ，散焦距离为625μm 的条件下采集锡和镀锡层基材元素检测同位素的时间分辨图，根据提出的边界确定规则确定了剥蚀镀锡层的时间，同时根据厚度标准片计算单位脉冲剥蚀量。该方法的单位脉冲剥蚀量为88 nm ／pulse，厚度分辨率为0．40μm，应用于测定钢镀锡厚度标准片、铜镀锡厚度标准片、有涂层马口铁和镀锡不锈钢带等样品，测定值与认定值的最大偏差为0．5μm。本方法避免了激光脉冲能量的不稳定使得单位脉冲剥蚀量发生变化的问题，提高了镀层厚度测定的准确度，适用于各种形态、各种规格金属镀层厚度的测定，也可应用于生命科学、考古、环境、司法等领域。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金献忠		6	4	1.0	1.0
2	谢健梅		4	4	1.0	1.0
3	陈建国		8	5	1.0	1.0