篇名 | Sensitivity analysis of pull-in voltage for RF MEMS switch based on modified couple stress theory | ||
来源期刊 | 应用数学和力学(英文版) | 学科 | 工学 |
关键词 | |||
年,卷(期) | 2015,(12) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 1555-1568 | |
页数 | 14页 | 分类号 | TN701|TN401 |
字数 | 语种 | 英文 | |
DOI | 10.1007/s10483-015-2005-6 |