大气压氦气射频介质阻挡辉光放电的均匀性研究

• 作者: 刘忠伟 朱强 李森 毛志国 陈强
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频介质阻挡辉光放电 均匀性 空间电荷 表面电荷
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 762-766
• 分类号: O539
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.06.21

摘要

为了研究大气压射频介质阻挡辉光放电的时空特性,采用一个表面覆盖有石英介质的铜电极和一个自制水电极的放电系统,在氦气中获得了大面积和较大电极间距下的辉光放电.对ICCD高速相机拍摄的径向放电图像和轴向放电图像分析揭示了射频介质阻挡辉光放电不仅具有较好的径向均匀性,而且具有很好的轴向均匀性,并不存在沿径向的发展.这是不同于中频介质阻挡辉光放电的一个显著特征.此外,注意到射频介质阻挡辉光放电在径向和轴向上的发展均与射频周期有很强的关联性.分析认为这是由于空间电荷在射频介质阻挡辉光放电的形成和发展中发挥主导作用.因此,可以认为射频介质阻挡辉光放电所具备非常好的径向和轴向均匀性,与中频介质阻挡辉光放电相比,可能会更有利于工业生产中进行均匀薄膜沉积和对薄膜表面改性处理等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈强	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	125	542	10.0	17.0
2	朱强	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	10	22	3.0	4.0
3	刘忠伟	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	25	62	5.0	7.0
4	毛志国	北方工业大学理学院	7	21	2.0	4.0
5	李森		9	17	2.0	4.0