基于三次样条插值的硅压阻式压力传感器的温度补偿

• 作者: 李淮江 王冰冰
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 温度补偿 三次样条曲线插值 非线性误差
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1003-1007
• 页数: 5页
• 分类号: TP2120
• 字数: 2723字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.07.011

摘要

传感器的零点温度漂移、灵敏度温度漂移和非线性误差是影响传感器性能的主要因素，如何能使该类误差得到有效补偿对于提高其性能有重要意义。提出了基于三次样条曲线插值的温度补偿方法，改进了传统三次样条曲线插值的补偿方法，分别对传感器的零点、灵敏度以及非线性进行补偿，用这种方法对测压范围为1.0140×105 Pa～3.0140×105 Pa，温度范围为-20℃～+60℃的硅压阻式压力传感器的实验标定结果进行了温度补偿。通过比较传统三次样条插值补偿后的传感器输出信号，验证了使用改进后的三次样条曲线插值法的补偿效果更好。这种方法为高精度压力传感器的温度补偿提供了一种有价值的理论依据。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李淮江	淮北师范大学物理与电子信息学院	20	98	5.0	9.0
2	王冰冰	淮北师范大学物理与电子信息学院	2	31	2.0	2.0