紫外-真空紫外光谱反射率测试系统

• 作者: 匡海鹏 曹小涛 汪龙祺
• 来源期刊: 国外电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光谱反射率 光谱分辨率 紫外-真空紫外 锁相放大
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 理论与方法
• 页码范围: 17-21
• 页数: 5页
• 分类号: TH741|TN23
• 字数: 2285字
• 语种: 中文

摘要

为获取紫外-真空紫外光学元件的光谱反射率 ,构建了一套反射率测试系统.该反射率测试系统主要由Seya-Namioka紫外-真空紫外单色仪、样品精密转台为主体的光机结构和电子学系统组成.首先,介绍了系统测量原理 ,采用双光路补偿法消除了光源随时间的飘移 ,通过改变系统光路进行两次测量来获取反射光与入射光数据,进而得到光谱反射率.接着对电子学硬件系统进行描述 ,给出了驱动控制单元与信号处理采集单元的硬件设计与组成.因紫外-真空紫外光谱信号微弱 ,采用了锁相放大的方法提高了测量精度.该反射率测试系统测试结果表明波长重复性0.05nm,反射率测量重复精度为1.8% ,系统功能完备稳定性好 ,能够实现对光学元件的高精度测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹小涛	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	29	178	8.0	12.0
2	匡海鹏	中国科学院航空光学成像与测量重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	36	455	11.0	20.0
6	汪龙祺	中国科学院航空光学成像与测量重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	19	47	4.0	5.0