基于ANSYS Workbench的真空镀膜设备真空室体有限元分析

• 作者: 华海宇 罗阳
• 来源期刊: 机械
• 学科: 工学
• 关键词: 真空镀膜设备 真空室体 ANSYS Workbench
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 计算机应用技术
• 页码范围: 43-46
• 分类号: TB753.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0316.2015.03.012

摘要

以真空镀膜设备真空室体为研究对象,利用Inventor建立三维模型,导入ANSYS Workbench中进行有限元分析.通过对ANSYS Workbench后处理数据进行分析得出真空室体在标准大气压作用下的总变形量、等效应力、等效应变分布规律,根据分析结果结合技术要求对真空室体结构进行优化设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗阳	四川大学制造科学与工程学院	49	615	9.0	24.0
2	华海宇	四川大学制造科学与工程学院	3	6	1.0	2.0