MEMS电热常闭开关的设计和性能研究

• 作者: 平川 张蕊 王可暄 薛艳 解瑞珍
• 来源期刊: 火工品
• 关键词: 起爆系统 低能 微小型 安全性 MEMS电热常闭开关 仿真 性能测试
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: TJ450.2
• 语种: 中文

摘要

针对低能、微小型起爆系统在勤务处理中的安全性问题,开展了MEMS电热常闭开关技术研究.通过Ansys分析软件建立了MEMS电热常闭开关仿真模型,对MEMS电热常闭开关换能元及其电热性能进行了仿真计算,得到了MEMS电热常闭开关的设计方案.通过MEMS加工工艺制作了MEMS电热常闭开关,并测试其性能.结果表明,仿真计算结果与试验结果吻合,MEMS电热常闭开关实现了通-断转换,开关的最低作用电流为0.19A.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	解瑞珍	陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室	12	27	3.0	5.0
2	薛艳	陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室	10	27	3.0	5.0
3	张蕊	陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室	25	130	6.0	11.0
4	王可暄	陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室	10	52	5.0	7.0
5	平川	陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室	1	0	0.0	0.0