微测辐射热计单元红外吸收分析

• 作者: 李军利 雷述宇
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微测辐射热计 等效折射率 吸收率 热响应时间
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 672-675
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 2387字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种计算多层结构微测辐射热计探测单元的红外吸收模型，并计算了所设计25?m微测辐射热计探测单元的红外吸收。当探测单元表面金属吸收层的方阻从2～600?/变化时，单元的吸收功率先逐渐增大，之后缓慢下降。对于300 K黑体辐射，当探测单元的吸收层方阻达到332?/时，吸收率达到最大。此时在8～14?m波段单元的红外吸收率平均值为72%，吸收功率为16 nW。在此基础上对探测单元结构的悬空高度进行优化，得到最优的两层悬空间隙高度均为0.8?m，最优吸收率为82%。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷述宇		3	6	2.0	2.0
2	李军利		2	6	2.0	2.0