压电/磁电复合式MEMS振动驱动微能源的研究

• 作者: 丑修建 孔龄婕 张文栋 甄国涌 贺婷
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压电式 磁电式 振动能量采集 微机电系统 微能源
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 987-991
• 页数: 5页
• 分类号: TN384
• 字数: 1591字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.07.008

摘要

为了满足无线传感网络节点对供电电源的自供电、低功耗、持续稳定供电的要求，研究了一种可以将环境中机械能转化为电能的MEMS压电-磁电复合式振动驱动微能源，结合压电转换与磁电转换把振动能转换为电能。建立数学模型，用有限分析软件Ansys12.0对不同尺寸的四悬臂梁-中心质量块结构进行力学特性分析，并对加工出的器件进行性能测试。测试结果表明，谐振频率为290Hz下，器件输出电压峰峰值随振动加速度的增加呈线性增加，1 m/s2和6 m/s2激励下有效输出电压分别为61mV和324mV，有望为无线网络传感节点提供性能高、寿命长、自供给的供电电源。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	甄国涌	中北大学电子测试技术国防重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	99	529	11.0	16.0
2	张文栋	中北大学电子测试技术国防重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	167	1172	16.0	26.0
3	丑修建	中北大学电子测试技术国防重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	49	225	9.0	13.0
4	贺婷	中北大学电子测试技术国防重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	9	48	5.0	6.0
5	孔龄婕	中北大学电子测试技术国防重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	24	3.0	4.0