GCr15钢领基体磁控溅射类金刚石薄膜的工艺

• 作者: 毕雅萱 许新军 赵帅
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射法 DLC薄膜 GCr15钢领 组织结构 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 工艺探讨
• 页码范围: 23-25
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文

摘要

为了提高钢领表面耐磨性,采用中频非平衡磁控溅射法在经热处理的GCr15钢领上制备了类金刚石(DLC)薄膜,并对不同磁控溅射功率、负偏压下制备的DLC薄膜进行了组织结构分析和摩擦磨损性能测试.结果表明:随着溅射功率、负偏压增加,DLC薄膜的Raman谱G峰位置和ID/IG值均整体上呈增加趋势,sp3键含量减少,石墨化程度增加;负偏压恒定为100 V时功率为8 kW以及功率恒定为5 kW时负偏压120 V,制备的DLC薄膜具有较小的摩擦系数和稳定的抗磨损性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许新军	上海百若实验仪器有限公司技术部	4	6	2.0	2.0
2	赵帅	鹤壁汽车工程职业学院机械工程系	12	11	2.0	2.0
3	毕雅萱	鹤壁汽车工程职业学院机械工程系	12	10	2.0	2.0