基于闭合磁路的框式薄膜电感的研究

• 作者: 何玉定 杨元政 谢致薇 陈先朝 陈赵豪
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜电感 磁通方向 电感量 闭合磁路 寄生电容 损耗因子
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 40-44
• 页数: 5页
• 分类号: TM25
• 字数: 2591字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2015.01.010

摘要

通过磁控溅射工艺制备出三种框式薄膜电感，其中特殊磁芯电感、全磁膜电感为设计制作的具有闭合磁性回路的特殊薄膜电感，而三文治结构电感是目前流行的薄膜电感，这些电感均由下层磁芯层、下层绝缘层（聚偏二氯乙烯，厚度约为40μm）、线圈和线圈中心的磁膜、上层绝缘层和上层磁芯层组成，其差别在于磁芯结构不同。在1~3 MHz频率范围内，比较了三种电感的等效电感、寄生电容和损耗因子。结果表明：与三文治结构电感和全磁膜电感相比，特殊磁芯电感有较高的等效电感量和较小的寄生电容，但损耗较后两者高。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢致薇	广东工业大学材料与能源学院	85	436	12.0	15.0
2	杨元政	广东工业大学材料与能源学院	123	648	13.0	20.0
3	陈先朝	广东工业大学材料与能源学院	59	180	7.0	10.0
4	何玉定	广东工业大学材料与能源学院	28	215	6.0	14.0
5	陈赵豪	广东工业大学材料与能源学院	1	1	1.0	1.0