高分辨率Ⅰ-line正性光刻胶的制备及应用性能研究

• 作者: 曹昕
• 来源期刊: 广州化学
• 学科: 工学
• 关键词: 酚醛树脂 重氮萘醌磺酸酯 Ⅰ-line 光刻胶
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TQ577.7
• 字数: 2559字
• 语种: 中文

摘要

利用两种不同重均分子量的改性酚醛树脂(PF)与一种三个酯化度的四羟基二苯甲酮-重氮萘醌磺酸酯光敏剂(PAC)按比例配制,加入适量助剂优化感光性能,制备出一种应用于电子触屏加工领域的Ⅰ-line正性光刻胶,其具有刻蚀精度高、工艺性能优良、单位成本较低等优势特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹昕		1	3	1.0	1.0