双面硅条探测器的研制与测试

• 作者: 刘祖华 包鹏飞 夏清良 孙立杰 张焕乔 徐新星 杨峰 杨磊 林承键 贾会明 郭天舒 郭昭乔 马南茹
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 双面硅条探测器 微电子工艺 电气特性 探测特性 条间串扰
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 336-342
• 页数: 7页
• 分类号: TL814
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/yzk.2015.49.02.0336

摘要

研制了双面硅条探测器。探测器灵敏面积为48 mm ×48 mm ，厚约300μm ，结面和欧姆面的硅条互相垂直，均由相互平行、宽度相等的48条组成，每条宽0.9 mm、间距0.1 mm。对其电气特性（耗尽偏压、反向漏电流、条间电阻）和探测特性（上升时间、能量分辨、条间串扰）进行了测试。在偏压为－15 V时，各条平均反向漏电流小于10 nA。对于从结面入射的5.157 M eV的α粒子，前放信号上升时间约45 ns ，结面各条的能量分辨率约0.6％～0.7％，基本无条间串扰；欧姆面各条能量分辨率较差，存在条间串扰。