基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
采用过滤精度为1微米的金属微孔膜,在多晶硅合成气工艺环节进行了应用研究,结果表明经过金属微孔膜过滤后,合成气内的粉尘含量可以降至40 mg/cm3,对于大于1微米的粉尘颗粒具有显著的拦截效果,经过再生,金属微孔膜过滤系统的可以在过滤压差小于25 KPa下运行.
推荐文章
多晶硅副产物在生产系统内的循环利用
多晶硅
四氯化硅
冷氢化
二氯二氢硅
反歧化
多晶硅企业含硅固废在陶瓷釉料中的应用研究
多晶硅企业固废
陶瓷釉料
石英
应用
多晶硅生产技术发展方向探讨
多晶硅
改良西门子法
高频电源技术
硅烷法
气液沉积法
多晶硅薄膜生产中的硅酸乙酯源柜温度与流量控制
TEOS源柜
温度与流量控制
专家PID控制
集成电路制造
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 金属微孔膜在多晶硅生产中的应用研究
来源期刊 过滤与分离 学科 工学
关键词 金属微孔膜 多晶硅合成气 再生 应用研究
年,卷(期) 2015,(3) 所属期刊栏目 基金项目
研究方向 页码范围 6-9
页数 4页 分类号 TQ028.8|TG146.4
字数 1900字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 汤慧萍 西北有色金属研究院金属多孔材料国家重点实验室 190 1935 22.0 33.0
2 汪强兵 西北有色金属研究院金属多孔材料国家重点实验室 36 311 12.0 16.0
3 杨保军 西北有色金属研究院金属多孔材料国家重点实验室 15 59 5.0 7.0
4 李烨 西北有色金属研究院金属多孔材料国家重点实验室 11 5 1.0 2.0
5 杨坤 西北有色金属研究院金属多孔材料国家重点实验室 15 18 3.0 4.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (12)
共引文献  (146)
参考文献  (5)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
2000(4)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(3)
2001(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
2006(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2007(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2008(4)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(4)
2009(2)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(0)
2010(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
2014(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2015(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
金属微孔膜
多晶硅合成气
再生
应用研究
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
过滤与分离
季刊
1005-8265
36-1178/TH
大16开
南昌市901信箱
44-73
1991
chi
出版文献量(篇)
1002
总下载数(次)
3
总被引数(次)
7706
论文1v1指导