透射模式电子背散射衍射技术在纳米材料研究中的应用

• 作者: 刘紫微 华佳捷 姜彩芬 曾毅 林初城
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 透射模式电子背散射衍射 高分辨率 相鉴定 纳米材料
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 833-837
• 页数: 5页
• 分类号: TN16
• 字数: 3093字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15541/jim20140065

摘要

为了提高电子背散射衍射技术的空间分辨率,使之能够对纳米尺度的晶粒或超细粉末进行相鉴定和取向分析,本研究通过自主设计的透射模式电子背散射衍射技术的样品台,及调整EBSD探头位置及角度,收集到清晰、完整的透射电子菊池衍射花样。研究了减薄块体样品厚度对透射电子菊池衍射花样的影响,对减薄氧化锆涂层样品进行了t-EBSD面分布分析,其结果的平均角度偏差(MAD)值仅为0.38,成功鉴定出小于30 nm尺度的纳米氧化锆涂层立方相；将超声分散后的纳米TiO2粉体滴在铜网上,采用t-EBSD对纳米颗粒进行点分析,成功鉴定了锐钛矿相和金红石相TiO2,其中纳米锐钛矿TiO2粉体的最小尺寸为20 nm左右,使得扫描电镜中相鉴定的最小分辨率从目前的约100 nm提高到小于30 nm,大大拓展了电子背散射衍射技术在纳米材料研究中的应用范围。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾毅	中国科学院上海硅酸盐研究所	63	845	16.0	27.0
2	华佳捷	中国科学院上海硅酸盐研究所	5	50	3.0	5.0
3	刘紫微	中国科学院上海硅酸盐研究所	4	29	2.0	4.0
4	林初城	中国科学院上海硅酸盐研究所	7	40	3.0	6.0
5	姜彩芬	中国科学院上海硅酸盐研究所	1	2	1.0	1.0