浅析液晶工厂回收水的设计与应用

• 作者: 高鹏
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 关键词: 回收水处理工艺 加压气浮 反渗透 活性炭
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 设计研究
• 页码范围: 34-38
• 页数: 5页
• 字数: 5384字
• 语种: 中文

摘要

在液晶面板制造工艺过程中蚀刻、显影及清洗这三项工序需要耗费大量的水.以清洗为代表是TFT生产过程中非常重要的一道生产环节,围绕玻璃面板进行.在所有的清洗过程中,高纯水的用量最多,其他还包括使用碱性表面活性剂等清洗剂.为有效降低制造纯水用原水的消耗,降低水处理系统运行成本,提高水的综合利用效率,进而降低单位液晶产品制造成本.就液晶工厂回收水的设计和应用进行简单介绍和说明.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高鹏		4	3	1.0	1.0