TiO2在e型电子枪蒸镀时扫描模式的研究

• 作者: 刘凯 宋佳妮 闫文平
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: TiO2 电子枪 扫描 研究
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1158字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2015.06.05

摘要

本文主要是对TiO2在e型电子枪蒸镀时的扫描模式设定进行了研究，以此来调整 TIO2在真空镀膜时的特性，保证TiO2在形膜过程中获得相对稳定的良好状态。