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摘要:
本文主要是对TiO2在e型电子枪蒸镀时的扫描模式设定进行了研究,以此来调整 TIO2在真空镀膜时的特性,保证TiO2在形膜过程中获得相对稳定的良好状态。
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文献信息
篇名 TiO2在e型电子枪蒸镀时扫描模式的研究
来源期刊 真空 学科 工学
关键词 TiO2 电子枪 扫描 研究
年,卷(期) 2015,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 19-21
页数 3页 分类号 TB43
字数 1158字 语种 中文
DOI 10.13385/j.cnki.vacuum.2015.06.05
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
TiO2
电子枪
扫描
研究
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空
双月刊
1002-0322
21-1174/TB
大16开
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
8-30
1964
chi
出版文献量(篇)
2692
总下载数(次)
3
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