折射率修正技术——激光干涉仪技术综述之四

• 作者: 羡一民
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉仪 折射率测量 Elden公式 实时修正 瑞利干涉仪
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 77-81
• 页数: 5页
• 分类号: TG806
• 字数: 3622字
• 语种: 中文

摘要

波长误差是激光干涉仪的重要误差源,而折射率的变化直接影响波长精度,本文介绍了激光折射率修正的原理,比较了间接、绝对、相对三种实用折射率修正方法的特点,分析了折射率修正的算法,进而提出一些正确使用激光干涉仪的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	羡一民	成都工具研究所有限公司	14	153	6.0	12.0