低阻尼MEMS加速度传感器频率特性快捷测试法

• 作者: 卞玉民 张旭辉 徐爱东
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 压阻 加速度传感器 汽车碰撞 谐振频率 阻尼比
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 108-112
• 分类号: TH703|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.02.009

摘要

提出了一种适合低阻尼MEMS压阻加速度传感器频率特性的测试方法,可较为快捷地获得传感器谐振频率和阻尼比等频率特性.首先介绍了该方法的理论依据和计算方法,然后介绍了典型测试系统构成和测试结果,并将该方法的测试结果与传统扫频测试方法的测试结果进行了对比,本方法所测得的传感器谐振频率和阻尼比分别为26.58 kHz和0.015,扫频测试方法所测得的传感器谐振频率和阻尼比分别为26.66 kHz和0.005.结果显示,该方法所得结果具有较好的精度,并具有操作简单、快速、重复性好及系统搭建成本低等优点.该方法已应用于汽车碰撞用MEMS压阻加速度传感器的生产,作为检测和筛选的测试手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卞玉民	中国电子科技集团公司第十三研究所	10	38	3.0	5.0
2	张旭辉	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	7	2.0	2.0
3	徐爱东	中国电子科技集团公司第十三研究所	9	62	4.0	7.0