侧壁粗糙度与几何结构对 SOI 脊形波导损耗的影响

• 作者: 刘军 刘林月 刘金良 张忠兵 陈亮
• 来源期刊: 现代应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 脊形波导 散射损耗 粗糙度
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 激光、光学和光电子学
• 页码范围: 37-41
• 页数: 5页
• 分类号: TN252
• 字数: 3771字
• 语种: 中文

摘要

基于条形波导传统数学模型和等效折射率方法,建立了SOI (silicon-on-insulator)脊形波导散射损耗的数学模型,重点讨论了侧壁粗糙度与几何结构对波导散射损耗系数的影响.研究表明:侧壁粗糙度是引起散射损耗的主要因素;波导几何结构对散射损耗的影响主要由波导宽度决定;对于给定刻蚀深度,损耗随波导宽度增大而减小;对于给定波导宽度,损耗随刻蚀深度增大而增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘军		20	123	5.0	10.0
3	陈亮		29	40	3.0	4.0
4	张忠兵		47	186	8.0	11.0
5	刘林月		15	21	3.0	4.0
6	刘金良		16	10	2.0	2.0