一种新型磁芯螺线管微电感的设计与优化

• 作者: 叶启 曲炳郡 耿玉洁
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 磁芯 螺线管微电感 Q值 HFSS
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 电子电路设计分析及应用
• 页码范围: 49-53
• 页数: 5页
• 分类号: TN402
• 字数: 3011字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2015.01.011

摘要

利用HFSS仿真软件对一种基于电感耦合的新型磁芯螺线管微电感进行设计,并优化得出其结构参数,该电感尺寸为7 mm×6.6 mm×0.44 mm。利用Agilent E4294A射频阻抗/材料分析仪对微机电系统(MEMS)工艺实现的该新型螺线管微电感进行了性能测试分析。测试结果表明：该电感在1 MHz~20 MHz频率范围内保持较高的电感值和品质因数Q,测试结果与仿真结果较好的吻合,电感值是相同几何结构参数下空心电感的16倍以上,在10 MHz频率时,微电感的电感值为1.17μH,Q值达到50。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曲炳郡	清华大学微电子学研究所	20	41	4.0	5.0
2	耿玉洁	清华大学微电子学研究所	2	0	0.0	0.0
3	叶启	清华大学微电子学研究所	2	0	0.0	0.0