纳结构的连续激光复合微纳探针刻划加工

• 作者: 杨立军 程柏 谷立山 陈晓苹 韩冰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳结构 微纳探针 连续激光 刻划 近场效应
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2043-2050
• 页数: 8页
• 分类号: TN249|TN305.7
• 字数: 3228字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152307.2043

摘要

为了加工形貌稳定且尺寸尽可能小的纳结构,建立了一套连续激光复合微纳探针的加工系统,并研究了光纤探针导光的连续激光辐照微纳探针的近场增强效应以及该系统的加工性能.首先,根据表面等离子体激元理论仿真分析了激光辐照原子力显微镜(AFM)探针的近场增强因子,并研究了微纳探针的针尖温度场和针尖热膨胀.接着,搭建了基于光纤探针导光的连续激光复合微纳探针的纳结构加工系统.最后,对聚乙烯片状材料样品进行了纳结构加工.结果显示:加工得到的纳米点尺度为200 nm左右;纳米线的尺度为30～40 nm.结果表明:光纤探针导光连续激光复合微纳探针系统避免了复杂的空间光路结构,是一种成本低廉,结构简单的系统,能够实现纳结构的加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩冰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	49	1109	13.0	33.0
2	谷立山	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	67	5.0	8.0
3	陈晓苹	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	18	3.0	4.0
4	杨立军	哈尔滨工业大学机电工程学院	46	263	10.0	15.0
5	程柏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	5	1.0	1.0