超声波硅片清洗系统的研制

• 作者: 夏楠君 王文丽
• 来源期刊: 清洗世界
• 学科: 工学
• 关键词: 超声波 清洗机 可编程逻辑控制器 电控系统 机械手
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 新技术、新工艺
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 分类号: TB490
• 字数: 3036字
• 语种: 中文

摘要

分析自动超声波硅片清洗机设备的整个系统组成和器件的选型及维护.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文丽	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	9	2.0	3.0
2	夏楠君	中国电子科技集团公司第四十五研究所	10	11	2.0	3.0