胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响

• 作者: 庞武斌 贾树强 黄玮
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光机系统 反射镜 三点支撑 表面面形 胶层 有限元模型
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2005-2012
• 页数: 8页
• 分类号: TH74
• 字数: 2378字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152307.2005

摘要

以45 nm浸没式光刻物镜中采用的三点支撑反射镜为研究对象,建立了胶层连接的三点边缘支撑结构模型,用以确定胶层厚度对三点支撑反射镜面形变化的影响.分析了重力作用下三点支撑反射镜的面形变化情况,通过解析表达式描述了胶层厚度对反射镜受力变形的影响.建立了“支撑块-胶层-反射镜”的有限元计算模型,针对不同胶层厚度对反射镜的面形变化进行了仿真分析.仿真结果表明:随着胶层厚度的增大,反射镜的面形变化(均方根值RMS)呈现先减小后增大的趋势;当胶层厚度为280 μm时,反射镜面形变化的RMS值最小,约为1.25 nm.最后,通过实验测量了柔性双脚架三点边缘支撑导致的反射镜面形变化.结果显示:当胶层厚度为200,280,400 μm时,反射镜面形的变化结果均与仿真结果一致,验证了本文仿真结果的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄玮	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	31	341	8.0	18.0
2	贾树强	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	4	7	1.0	2.0
3	庞武斌	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	4	17	3.0	4.0