基于液滴稳态面形计算的微小透镜制作技术

• 作者: 王翔 简伟明
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微光学器件 微小透镜 最小自由能原理 液滴面形 紫外光固化胶
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 318-324
• 分类号: TN256
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.05.009

摘要

微小透镜作为典型微小光学器件在应用光学领域有着重要作用.依据液滴稳态球冠面形具有最小自由能的成形原理,分析了液滴接触角和体积对其面形的影响;通过编程软件SurfaceEvolver对微小液滴的建模,对液滴的稳态面形进行了数值计算;利用按需滴定的体积调控和不同疏水性基底材料的接触角改变,得到了不同尺寸、不同面形的聚合物透镜.实验测量与面形仿真具有良好的一致性.结果表明,液滴接触角增大,则透镜底径减小,高度增大;液滴体积增大,则透镜底径与高度均增大;且液滴体积较小时,可以得到非球面系数较小的球面面形透镜.透镜的光学参数测量和成像实验表明,通过调节接触角和体积能够制作出不同光学参数且光学性能良好的微小透镜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王翔	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	59	399	12.0	17.0
2	简伟明	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	3	5	1.0	2.0