基于复合光栅镜的角向偏振光产生研究

• 作者: 卢丽娟 李波 王又青 赵江
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 角向偏振光 严格耦合波分析 复合光栅镜 伪博世工艺 纳米柱 金栅脊
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: ? 激光材料和光学元件?
• 页码范围: 585-589
• 页数: 5页
• 分类号: TN253
• 字数: 1165字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.05.001

摘要

为了得到角向偏振光输出，采用严格耦合波分析方法，设计了一种复合光栅镜。先通过对Ge光栅的伪博世工艺刻蚀特性的研究，得到了高深宽比的无定型Ge光栅。然后在栅槽底部引入了随机分布的Ge纳米针，在该光栅上依次镀金膜和介质保护膜，得到介质－金属复合光栅镜。最后将该复合光栅镜用作轴快流CO2激光器谐振腔尾镜，得550W角向偏振光输出。结果表明，纳米柱及金栅脊的引入使得该复合光栅镜具有很高的偏振选择性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李波	华中科技大学激光加工国家工程研究中心	79	771	16.0	23.0
2	王又青	华中科技大学激光加工国家工程研究中心	57	521	12.0	20.0
3	卢丽娟	华中科技大学激光加工国家工程研究中心	10	233	6.0	10.0
4	赵江	华中科技大学激光加工国家工程研究中心	6	50	4.0	6.0