基于GaAs pin工艺的开关滤波器组芯片

• 作者: 世娟 白志中
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 单刀三掷开关 带通滤波器 开关滤波器组 GaAs pin工艺 耦合系数
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 半导体集成电路
• 页码范围: 570-574,605
• 分类号: TN304.23|TN43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2015.08.003

摘要

基于GaAs pin工艺,研制了频率覆盖9.9～ 14.2 GHz的三通道开关滤波器组单片微波集成电路(MMIC)芯片.开关滤波器组由输入/输出pin单刀三掷开关、带通滤波器组和pin开关偏置电路组合而成,集成在面积为4 mm×4 mm的GaAs衬底芯片上.每个支路的pin开关都采用串-并混合结构,控制电压-5 V时开关导通,+5V时开关截止.带通滤波器均采用分布参数梳状线结构,开路端加载金属-绝缘体-金属(MIM)电容减小了滤波器的尺寸.经探针台在片测试,结果表明,开关滤波器组MMIC芯片的三个通道中心插损为3.5～4.0 dB,1 dB相对带宽为16％ ～ 19％,35 dB与1 dB矩形系数比为1.9～2.2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	世娟	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	16	3.0	4.0
2	白志中		1	5	1.0	1.0