硬质合金Al2O3/TiCN涂层晶粒生长方式的研究

• 作者: 徐银超 李园园 林江华 温光华 陈响明 高跃红
• 来源期刊: 硬质合金
• 关键词: Al2O3层 TiCN层 EBSD 晶界 晶粒生长 织构
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 147-154
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7292.2015.03.001

摘要

本文以Al2O3/TiCN多层CVD涂层为研究对象,采用EBSD分析Al2O3/TiCN涂层晶粒生长方式和取向结构.Al2O3晶粒间多为大角度晶界;TiCN晶粒在平行和垂直于晶粒生长方向上分别形成带顶尖锥体结构和棱形结构晶粒对,中心线均为60°<111>孪晶界,即∑3晶界,分别占TiCN涂层晶界的27.3％和28.2％.基于EBSD数据,利用截距法分析了Al2O3及TiCN晶粒横向生长变化趋势,随着涂层的生长,Al2O3晶粒约长大二倍,呈喇叭型生长,晶粒数量不断减少,而TiCN晶粒在0.24～0.36 μm范围内呈纤维状生长,具有明显的长径比.EBSD反极图显示TiCN具有<111>方向织构,Al2O3具有接近<0001>方向织构,而采用XRD方法计算TiCN和Al2O3涂层在宏观上分别具有{111}和{0112]方向织构.