金刚石表面无定形碳氢薄膜生长的分子动力学模拟?

• 作者: 张传国 张铭 杨勇 郝汀
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 无定形碳氢薄膜 金刚石表面 分子动力学模拟
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 018102-1-018102-8
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.64.018102

摘要

利用分子动力学模拟方法研究了CH2基团轰击金刚石(111)面所形成的无定形碳氢薄膜(a-C：H)的生长过程。结构分析表明，得到的无定形碳氢薄膜中碳原子的局域结构(如C—C第一近邻数)与其中氢原子的含量密切相关。 CH2基团入射能量的增加会导致得到的薄膜的氢含量降低，从而改变薄膜中类sp3成键碳原子的比例。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨勇	中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室	101	942	20.0	27.0
2	张铭	北京工业大学材料科学与工程学院	44	107	6.0	8.0
3	张传国	中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室	10	432	6.0	10.0
4	郝汀	中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室	3	6	2.0	2.0