准分子激光微透镜整形均束装置

• 作者: 蒋毅坚 赵艳 靳羽华
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光光学 准分子激光 均束装置 微透镜 能量分布 整形
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 16-29
• 页数: 14页
• 分类号: TN23
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0602003

摘要

报道了248 nm准分子激光微透镜整形均束装置的研制结果.实际采集并拍摄了248 nm准分子激光光能量分布的彩色图像,使用Matlab分析处理该图像并提取了相关信息进行计算,通过光学软件ZEMAX模拟出符合实际准分子激光光能量分布的光源.通过分析空间光能量分布特征,设计并加工出一套适用于248 nm准分子激光的微透镜整形均束装置,且理论模拟和实际测试结果相吻合.248 nm准分子激光通过该光学系统整形均束后,可以在工作平面上得到一个约18 mm×l8 mm的正方形光斑,光斑的能量均匀度误差(加工窗)在±2％以内,平顶因子为0.90,光能量通过率为85％左右,解决了248 nm准分子激光光斑形状不规则,且光斑能量分布不均匀的问题.该装置的研制成功,对于优质、高效地开展准分子激光微加工提供了具有自主知识产权的技术支撑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋毅坚		100	628	12.0	21.0
2	赵艳		33	153	7.0	12.0
3	靳羽华		2	0	0.0	0.0