用于金属薄膜刻蚀的激光束能量分布整形研究

• 作者: 吴敢 杨建平 王瑞 陈学康
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光刻蚀 能量密度分布 衍射元件 光束整形
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: O436
• 字数: 1713字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2015.01.009

摘要

针对碳纤维复合材料基底上的金属薄膜图形刻蚀需求，研究了一种基于光学波前衍射变换原理的能量/激光功率密度分布整形方法，并设计制作了衍射元件。利用基模（TEM00）和非基模输出的红外激光分别进行了验证实验，用整形后的激光光束进行刻蚀，金属薄膜被完全去除，刻蚀边界锋锐整齐，基底没有可见的损伤。衍射元件对于基模模式输出激光的转换效率为71%，对非基模模式的转换效率为53%。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈学康	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	16	79	5.0	8.0
2	王瑞	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	6	23	2.0	4.0
3	吴敢	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	4	23	2.0	4.0
4	杨建平	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	5	25	2.0	5.0