薄膜厚度对AZO薄膜光电性能的影响

• 作者: 范丽琴
• 来源期刊: 陶瓷学报
• 学科: 工学
• 关键词: 透明导电膜 掺铝氧化锌 磁控溅射 光电学性质
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174.75
• 字数: 2554字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13957/j.cnki.tcxb.2015.01.005

摘要

通过射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备AZO薄膜，研究膜层厚度对AZO薄膜光电特性的影响。发现随着膜层厚度的增加，AZO薄膜在可见光区的平均透射率略微增长，而方块电阻和电阻率却显著递减，导致其品质因子随厚度增加而增加。在薄膜厚度为395 nm时，获得电阻率为3.24×10-3Ωcm，可见光区平均透射率为85.52%，品质因子为25.52×10-4Ω-1的光电性能良好的透明导电薄膜。本文制备的薄膜具有较优的透明导电性，可以广泛应用于太阳能电池、平板显示器等光电领域。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范丽琴	华侨大学厦门工学院	4	12	3.0	3.0