用于快速反射镜的压电陶瓷驱动系统设计

• 作者: 刘洋 吴庆林 张斌 王帅
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 快速反射镜 压电陶瓷 功率放大器 PA9 2
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 【研究与设计】
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TN384|TN722.7
• 字数: 3009字
• 语种: 中文

摘要

设计了一种用于快速反射镜的压电陶瓷驱动系统,并进行了检测。首先分析了快速反射镜的驱动原理,并确定系统的主要设计指标；然后以PA92为驱动核心,分别进行输入级电路、滤波电路和高压放大计电路的设计,该系统具有3路驱动通道：一路固定100 V输出；两路0~100 V可变输出,可实现快速反射镜的推拉驱动。实际测试结果表明：该系统输出电压的非线性度为0.075%,最大纹波电压峰峰值为8.2 mV,驱动10μF的等效负载时,100 V大信号阶跃响应上升时间和下降时间约为290μs,实际驱动 S340型快速反射镜时,系统的-3 dB带宽达到326 Hz,提高了快速反射镜的频率响应范围。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘洋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	205	1855	20.0	37.0
2	张斌	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	201	3903	35.0	56.0
3	王帅	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	133	716	13.0	21.0
4	吴庆林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	32	284	10.0	16.0