多频率开尔文探针力显微镜的设计

• 作者: 丁喜冬 何万贤 梁仲文
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 开尔文探针力显微镜 多频率 反馈 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: ?光电测量与检测?
• 页码范围: 31-36
• 页数: 6页
• 分类号: TH742
• 字数: 3684字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2015.11.006

摘要

本文研究开尔文探针力显微镜(KPFM)中多频率方法的实现。KPFM中的多频率方法同时激发微悬臂探针的第一次和第二次的本征机械振动模式并分别用于样品形貌和表面电势成像。据此，本文设计了一种基于传统比例-积分控制器基本原理的模拟式反馈控制器，用以实现探针的调控。测试表明，该反馈控制器带宽可达约5 kHz，并利用该反馈控制器研制出了多频率KPFM，其电势测量灵敏度优于5 mV。利用该多频率KPFM，对注入电荷后的介电薄膜样品进行测试，一次成像即可得到样品的形貌图及局域电势的二维分布图。该多频率KPFM技术可广泛应用于电子材料与器件的电特性表征。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁仲文	中山大学物理科学与工程技术学院	1	0	0.0	0.0