UV-LIGA技术制备频率选择表面的研究

• 作者: 崔大祥 林彬彬 林树靖 袁涛 谢耀 陈迪
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 频率选择表面(FSS) UV-LIGA技术 毫米波 亚毫米波 CST MWS软件
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 597-602
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.09.010

摘要

针对未来空间毫米波亚毫米波准光技术的应用,对其核心器件频率选择面(FSS)的加工技术进行了研究.通过CST MWS软件对118 GHz频率选择表面进行了仿真,研究了线宽、周期长度、结构片厚度以及垫片厚度对频率选择表面的频率响应特性的影响.采用UV-LIGA技术对118 GHz频率选择表面进行了加工制造,并对其样品进行测试.SEM结果显示,样品的侧壁陡直性良好,结构尺寸精度高,其最大误差为±2μm.样品的频率响应特性测试结果表明,在118 GHz和89 GHz处的插入损耗分别为-0.24 dB和-13.7 dB,两者皆符合预定指标.这表明UV-LIGA技术在加工频率选择表面具有优越性.