GD-MS法测定太阳能级多晶硅中痕量杂质元素含量

• 作者: 杨海岸 杨赟金
• 来源期刊: 云南冶金
• 学科: 化学
• 关键词: 太阳能级多晶硅 辉光放电质谱法 准确度 精密度
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 检测技术
• 页码范围: 69-72
• 页数: 4页
• 分类号: O657.63
• 字数: 2061字
• 语种: 中文

摘要

采用辉光放电质谱法(GD-MS)测定太阳能级多晶硅中B、Na、Mg、Al、K、Ca、Ti等20个痕量杂质元素.研究了GD-MS测定多晶硅的预溅射时间,优化和选择了仪器的工作参数、分辨率和用于分析的待测元素同位素.并将分析结果与电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)的分析结果进行对照以验证GD-MS无标分析的准确程度.实验结果表明,GD-MS法对B、Na、Mg、Al、K、Ca、Ti等元素测定结果的相对标准偏差(RSD)都小于25％,二者测定结果基本一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨赟金		6	19	3.0	4.0
2	杨海岸		5	24	3.0	4.0