激光位移传感器在自由曲面测量中的应用

• 作者: 孙彬 李兵 陈磊 魏翔
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光位移传感器 自由曲面测量 非接触测量 三角法测量 误差补偿
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1939-1947
• 页数: 9页
• 分类号: TP212.12|TH744.5
• 字数: 3786字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152307.1939

摘要

以点激光位移传感器(HL-C211BE)为对象,研究它在自由曲面测量中的应用.针对激光位移传感器因测点倾角代入的测量误差,提出了一个可以量化的倾角误差模型.基于直射式点激光三角法原理,分析了激光光路的几何关系,从会聚光斑光能质心发生的偏移推导出倾角误差模型.随后,用高精度激光干涉仪和正弦规对激光位移传感器进行校对实验,并用误差模型对测量结果进行补偿.结果显示,补偿后激光位移传感器的测量精度得到明显提高.对一非球面凸透镜进行了实验测量,得到了自由曲面测点倾角的计算方法,并用倾角误差模型修正了测量数据.实验结果表明,量化的倾角误差模型可以将激光位移传感器的测量误差控制到小于10 μm,满足激光位移传感器在自由曲面测量中应用的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李兵	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	84	1641	20.0	38.0
2	孙彬	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	2	107	2.0	2.0
3	陈磊	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	22	284	7.0	16.0
4	魏翔	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	3	80	2.0	3.0