MEMS陀螺驱动数字闭环ASIC设计

• 作者: 任臣 杨亮 杨拥军
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS陀螺 专用集成电路(ASIC) 驱动数字闭环 电容/电压转换 ∑△调制
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 半导体集成电路
• 页码范围: 566-569,584
• 分类号: TN492
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2015.08.002

摘要

针对MEMS陀螺,基于四阶机电结合∑△调制器技术设计了一款驱动数字闭环电路.其中电容/电压转换电路(C/V转换电路)采用了开关电容电路.为了降低C/V转换电路的噪声,采用了相关双采样(CDS)技术和斩波开关技术.仿真结果表明,采用这两项技术后,C/V转换电路的噪声在1 ～ 10 kHz附近达到了约20 zF/√Hz.数字信号处理部分的时钟由锁相环路(PLL)提供,并且片上PLL对陀螺驱动模态谐振频率进行了倍频.采用0.18 μm CMOS工艺制作设计的专用集成电路(ASIC).实验结果表明,驱动闭环电路能够成功起振,电路输出信号的信噪比达到112 dB,1h的稳定性达到2.08×10-4.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨拥军	中国电子科技集团公司第十三研究所	44	220	7.0	13.0
2	杨亮	中国电子科技集团公司第十三研究所	14	21	3.0	4.0
3	任臣	中国电子科技集团公司第十三研究所	9	11	2.0	2.0