MEMS红外光源定向辐射结构设计与分析

• 作者: 丑修建 孔龄婕 张鹏 燕乐 贺婷 陈东红
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS红外光源 准直透镜 聚光封装 收敛辐射
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 系统与设计
• 页码范围: 492-495
• 页数: 4页
• 分类号: TN212
• 字数: 2087字
• 语种: 中文

摘要

红外光源辐射利用率是制造高性能红外系统的关键，准直透镜因其减少红外光源的广角散射而大幅提高红外光源利用率。针对MEMS红外光源设计CaF2高红外透射材料的双凸曲面结构准直辐射透镜，使红外光线收敛呈准直辐射；由MEMS红外光源封装确定透镜最佳口径r＝6.48 mm，透镜焦距f＝7.2 mm，透镜厚度d?≤2 mm，用Zemax光学软件仿真优化，得出中间层厚度d＝0.309 mm。并进行透镜的聚光光路仿真分析和效果验证，为定向辐射 MEMS 红外光源研发提供最优的原型尺寸参数，极大提高设计效率。