248 nm紫外显微镜微纳线宽校准方法的研究

• 作者: 尹传祥 施玉书 李伟 李琪 李适 王鹤群 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 248 nm 紫外显微镜 线宽校准 栅格标准物质
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TB921
• 字数: 3144字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2015.01.02

摘要

248 nm波长照明的紫外显微镜能够获得高达80 nm的光学分辨率,可以实现对掩模板的线宽和一维/二维栅格参数的测量.作为测量仪器的248 nm紫外显微镜需要对其进行校准.该显微镜测量范围在nm量级,校准使用400 nm-维栅格标准物质,通过对仪器不确定度和标准物质自身不确定度的评估,得到采集图像每个像素的扩展不确定度为0.178 nm,并给出了实际测量时的不确定度评价公式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	李伟		27	92	5.0	8.0
3	施玉书		35	121	5.0	8.0
4	李琪		21	48	4.0	5.0
5	李适		11	25	3.0	4.0
6	王鹤群		4	10	3.0	3.0
7	尹传祥		1	3	1.0	1.0