光纤用四氯化硅提纯技术的研究

• 作者: 武鑫萍 王铁艳 莫杰 袁琴
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 四氯化硅 光纤 光化学反应 精馏提纯
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 379-384
• 分类号: TQ127.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13373/j.cnki.cjrm.2015.04.013

摘要

高纯度光纤级四氯化硅是制作光纤预制棒的主要原料,其质量好坏直接影响光纤产品的质量.目前,我国光棒生产厂家使用的光纤级四氯化硅总量的85％来自进口.国内的四氯化硅提纯技术虽然对于金属离子杂质的去除有较好的效果,但是对于含氢杂质(尤其是三氯氢硅)的去除效果却不够理想,产品普遍存在氢杂质含量较高的问题,无法满足光纤预制棒芯棒的生产需要.对四氯化硅中含氢杂质的光化学反应机制进行了研究,并对四氯化硅精馏提纯的工艺参数进行了优化,提出了采用光化-精馏联合的提纯工艺方法,对于与四氯化硅沸点相近的含氢化合物的去除效果非常理想.采用的工艺方法不会在四氯化硅产品中引入由吸附剂、络合物所带来的新的杂质,且具有工艺流程简单,生产效率高的优点.研究生产的高纯四氯化硅产品在含氢杂质的控制方面与国外产品水平持平,部分指标略有胜出;在金属离子杂质控制方面,提纯的样品部分金属杂质低于国外产品标准一个数量级.提纯制备的高纯四氯化硅产品可满足管内法等离子体化学气相沉积/管内化学气相沉积(PCVD/MCVD)工艺生产单膜、多膜光纤预制棒芯棒的需要,为实现我国光纤通信原料的国产化提供有益参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	莫杰		1	4	1.0	1.0
2	袁琴		1	4	1.0	1.0
3	武鑫萍		1	4	1.0	1.0
4	王铁艳		1	4	1.0	1.0