双探针原子力显微镜针尖对准方法研究

• 作者: 张华坤 施玉书 李伟 王鹤群 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 双探针 原子力显微镜 对准方法 关键尺寸
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 2839字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2015.01.01

摘要

双探针对顶测量可以有效地消除传统原子力显微镜(AFM)的探针形状对关键尺寸(CD)测量的影响.测量前需要将两个探针针尖(A和B)接触到一起作为测量零点,为实现双探针纳米级对准,提出一种渐进式平面扫描方法.首先,通过视觉图像引导两个探针对准到1μm以内.然后,两个探针继续接近,同时探针A在YOZ平面内对探针B扫描成像,并逐步缩小扫描范围和扫描步进,得到其针尖的纳米级坐标(YB,ZB).最后,将探针A在Y和Z方向分别移动至YB和ZB,在X方向继续接近探针B直至两探针接触.实验证明,该方法可有效地实现双探针对准,且对准精度为10 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	93	567	11.0	19.0
3	张华坤	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	8	27	3.0	5.0
4	李伟		27	92	5.0	8.0
5	施玉书		35	121	5.0	8.0
6	王鹤群		4	10	3.0	3.0