PDMS仿生疏水表面的制备

• 作者: 张斌珍 曹合适 赵龙
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 疏水性 微纳米结构转印技术 光刻 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 静态接触角
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 329-333
• 分类号: TB332|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.05.011

摘要

基于紫外光刻工艺和微纳米结构转印技术制作出了一种MEMS仿生疏水表面,表面材料为聚二甲基硅氧烷(PDMS).首先旋涂SU-8胶,利用紫外光刻技术制作出微型孔阵列模具,然后浇铸PDMS,固化后剥离,形成具有高粗糙度的PDMS薄膜,通过提高粗糙度改善PDMS表面的疏水性能.采用共聚焦显微镜和接触角仪表征其形貌和疏水性能,与原始的PDMS表面相比,该仿生功能表面的疏水性能得到显著改善,静态接触角增幅高达35.7％.此方法制作仿生疏水表面工艺简单、周期短、成本低且各参数易于控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张斌珍	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	107	535	12.0	18.0
5	赵龙	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	12	37	4.0	5.0
9	曹合适	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	3	12	2.0	3.0