介质膜集成衬底垂直外腔面发射激光器

• 作者: 刘云 宁永强 崔锦江 张星 张金龙 李秀山 王立军 秦莉 贾鹏
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直外腔面发射激光器 复合腔 光谱 远场发散角
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 572-576
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2344字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20153605.0572

摘要

垂直外腔面发射激光器(VECSEL)可以实现大功率的高光束质量输出.针对外腔制作工艺复杂、腔体结构松散的缺点,研制了一种介质膜集成衬底表面外腔底面发射激光器.将衬底表面生长的多层介质绝缘薄膜与N-DBR、P-DBR共同构成复合腔结构,衬底充当外腔.该结构能够抑制高阶模式,进而优化输出光谱及远场发散角等光束特性.在已有的理论指导下,制作了有源区直径为200 μm、外腔腔长250 μm的VECSEL.室温下,向器件连续直流注入3.4A,测试得到输出功率为260 mW,远场发散角的半角宽度为3.8°,光谱半高全宽为0.046 nm.与常规结构底面发射VCSEL进行比较,发现VECSEL器件的光束质量得到了明显改善,实验结果与理论仿真结果有较好的一致性.