微加工工艺误差对THz折叠波导行波管性能影响

• 作者: 向伟 徐翱 王亚军 金大志 颜胜美
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 折叠波导 慢波结构 冷测特性 工艺误差 太赫兹
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 太赫兹科学技术
• 页码范围: 179-183
• 页数: 5页
• 分类号: TN124
• 字数: 4660字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201502.0179

摘要

在太赫兹频段，折叠波导慢波结构主要采用微细加工技术完成。讨论了目前折叠波导慢波结构主要的微加工工艺，分析了主要工艺误差包括波导深度、侧壁垂直度对0.41 THz 折叠波导慢波结构高频特性的影响。通过分析比较，a值对折叠波导行波管性能影响很大，需要在工艺中精确控制。在侧壁垂直度为89°范围以内，侧壁垂直度的变化对折叠波导行波管性能影响不大。通过仿真分析，确定了工艺中必须控制加工精确度的工艺步骤，这对0.41 THz 折叠波导行波管的研制有非常重要的意义。