高分辨率显示用小孔设计技术

• 作者: 史大为 曲连杰 杨莉 郭建 闵泰烨 陈旭
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜晶体管液晶显示器 过孔 高分辨率
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: ??器件物理及器件制备技术??
• 页码范围: 246-250
• 页数: 5页
• 分类号: O436.1|TN32|TN27
• 字数: 2356字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20153002.0246

摘要

为了满足市场对显示产品高分辨率的要求，需要从产品的设计和工艺各个方面进行优化，其中过孔尺寸和线宽两个因素对阵列基板分辨率影响最大，本文通过相移掩模技术可以实现对过孔尺寸的精确控制，通过在普通过孔上增加一定厚度和透过率的相移层，并对各种参数下过孔的光透过率进行模拟分析，可以获得不同相移层参数对过孔特性的影响，最后提出一种可以获得稳定微小过孔的方法。结果表明，通过对相移层透过率和宽度的控制，可以获得对曝光光强不敏感的稳定微小过孔，曝光量增大一倍乃至数倍的过程中，过孔尺寸始终保持稳定，提高了工艺容忍度。对于模拟中过孔尺寸可以小于设备的4μm 分辨极限。通过减小过孔尺寸，可以有效提升 TFT 显示产品的开口率，实现产品对高分辨率的要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曲连杰		2	4	2.0	2.0
2	陈旭		11	41	4.0	5.0
3	郭建		8	24	3.0	4.0
4	闵泰烨		10	33	4.0	4.0
5	史大为		3	10	2.0	3.0
6	杨莉		1	2	1.0	1.0